فاز اول:foundries تراشه اولیه دارای حاشیه سود بالا بود. آن ها عمدتاً از ماشین های کندوپاش مغناطیس ۱۰۰ تا ۱۵۰ میلی متری با قدرت پایین استفاده می کنند. فیلم کندوپاش ضخیم و اندازه تراشه بزرگ است.
اون موقعاهداف تیتانیومبرای مدارهای مجتمع عمدتاً مونومر ۱۰۰ تا ۱۵۰ میلی متری و اهداف کامپوزیتی بودند.
فاز دوم:
در مرحله دوم بر اساس قانون مور عرض خط تراشه باریک تر می شود. به منظور افزایش سود، تأسیسات تراشه قدرت کندوپاش تجهیزات را افزایش داد که عمدتاً از تجهیزات کندوپاش ۱۵۰ تا ۲۰۰ میلی متری استفاده می کرد. این نیاز به افزایش اندازه هدف در حالی که حفظ هدایت حرارتی بالا، قیمت پایین، و قدرت خاص است. در این مدت،اهداف تیتانیومعمدتا از پخش از آلیاژ آلومینیوم backplane backplane و brazing و welding از backplane آلیاژ مس تشکیل شده است.
فاز سوم :
در مرحله سوم با توسعه مدارهای مجتمع، عرض خطوط تراشه بیشتر تنگ می شود. در این زمان، foundries تراشه عمدتاً از ماشین های کندوپاش ۲۰۰ تا ۳۰۰ میلی متری استفاده می کنند و الزامات مواد هدف سخت گیرانه تر است. در این مدت،هدف تیاست که عمدتا از آلیاژ مس backplate پخش ولدینگ ساخته شده است.
