طبقه بندی و کاربرد اهداف کندوپاش

انواع مختلفی از اهداف کندوپاش با نیازهای خلوص بالا وجود دارد و همچنین به طور گسترده در صنعت استفاده می شود. امروز، ما در مورد چهار نوع هدف کندوپاشی که معمولاً در چهار زمینه اصلی استفاده می شود صحبت خواهیم کرد: اهداف آلومینیومی با خلوص بالا، اهداف تیتانیومی، اهداف تانتالیوم و اهداف تیتانیوم تنگستن. آنها زمینه های نمایشگرهای صفحه تخت، نیمه هادی ها، ذخیره سازی و سلول های خورشیدی را پوشش می دهند.

هدف آلومینیوم (خلوص موجودی 99.99 درصد - 99.999 درصد)

آلومینیوم با خلوص بالا و آلیاژهای آن یکی از مواد فیلم رسانا هستند که به طور گسترده مورد استفاده قرار می گیرند. در زمینه کاربرد، ساخت تراشه‌های VLSI به خلوص بسیار بالایی از فلز هدف نیاز دارد که معمولاً به 99.9995 درصد می‌رسد، در حالی که خلوص فلز صفحه‌های صفحه تخت و سلول‌های خورشیدی کمی کمتر است.

هدف تیتانیوم (خلوص موجودی 99.99 درصد - 99.999 درصد)

تیتانیوم یکی از مواد لایه مانع است که معمولا در تراشه های VLSI استفاده می شود (ماده لایه رسانای مربوطه آلومینیوم است). هدف تیتانیوم همراه با حلقه تیتانیوم در فرآیند تولید پیش تراشه استفاده خواهد شد. عملکرد اصلی کمک به فرآیند کندوپاش اهداف تیتانیومی است که عمدتاً در زمینه تولید تراشه VLSI استفاده می شود.

هدف تانتالیوم (خلوص موجودی 99 درصد، 99.5 درصد، 99.9 درصد، 99.995 درصد، 99.99 درصد، 99.995 درصد، 99.999 درصد)

با رشد انفجاری تقاضا برای محصولات الکترونیکی مصرفی مانند گوشی‌های هوشمند و تبلت‌ها، تقاضا برای تراشه‌های گران‌قیمت به میزان قابل توجهی افزایش یافته است و تانتالیوم به یک منبع معدنی داغ تبدیل شده است. با این حال، به دلیل کمبود منابع تانتالیوم، اهداف تانتالیوم با خلوص بالا گران هستند و عمدتاً در مدارهای مجتمع در مقیاس بزرگ و سایر زمینه ها استفاده می شوند.

هدف تنگستن تیتانیوم (99.95 درصد خلوص در انبار)

آلیاژ تیتانیوم تنگستن دارای تحرک الکترون کم، خواص مکانیکی حرارتی پایدار، مقاومت در برابر خوردگی خوب و پایداری شیمیایی خوب است. در سال های اخیر، هدف کندوپاش آلیاژ تیتانیوم تنگستن به عنوان ماده لایه تماس مدارهای شبکه تراشه نیمه هادی استفاده شده است. علاوه بر این، در اتصال فلزی دستگاه های نیمه هادی، می توان از اهداف تنگستن و تیتانیوم به عنوان لایه های مانع استفاده کرد. این در محیط های با دمای بالا، عمدتا برای VLSI و سلول های خورشیدی استفاده می شود.